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小型旋轉(zhuǎn)涂覆儀產(chǎn)品用途:
勻膠機(jī)可以將液態(tài)或膠體材料涂覆在硅片、晶體、石英、陶瓷等基片上形成薄膜,主要應(yīng)用于光刻膠旋涂、生物培養(yǎng)基制作、溶膠凝膠法制作高分子薄膜等領(lǐng)域。小型旋轉(zhuǎn)涂覆儀技術(shù)參數(shù):
項目 |
明細(xì) |
|
旋涂儀 |
供電電壓 |
AC220V 50Hz |
轉(zhuǎn)速 |
0~10000rpm |
|
加速度 |
100~5000rpm/s |
|
轉(zhuǎn)速分辨率 |
1rpm |
|
單步時間 |
3000s |
|
基片尺寸 |
直徑≤4英寸(100mm) |
|
腔體材質(zhì) |
不銹鋼 |
|
操作方式 |
按鍵+液晶屏 |
|
滴膠方式 |
手動滴膠,可選購精密注射泵 |
|
勻膠曲線 |
每條曲線5段,共可儲存5條曲線 |
|
抽氣接口 |
φ6mm 快擰接口 |
|
整機(jī)尺寸 |
210mm × 250mm × 210mm |
|
整機(jī)重量 |
8kg |
|
排氣系統(tǒng) |
真空泵 |
干式機(jī)械泵 |
抽氣速率 |
50L/min |
|
供電電源 |
AC220V 50/60Hz |
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