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產(chǎn)品詳情
  • 產(chǎn)品名稱:緊湊型直流磁控濺射鍍膜儀

  • 產(chǎn)品型號:CY-MSZ180-I-DC-Q
  • 產(chǎn)品廠商:成越科儀
  • 產(chǎn)品文檔:
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簡單介紹:
緊湊型直流磁控濺射鍍膜儀是一款臺式磁控等離子濺射鍍膜機,帶有2英寸靶頭,高度可調(diào)的樣品架。特別適用于涂覆SEM樣品的導電金膜。緊湊型直流磁控濺射鍍膜儀是一種緊湊型等離子濺射鍍膜機,專為金屬涂層設計,如金、鉑金和白銀。包括一個2英寸金靶(4N)。
詳情介紹:

緊湊型直流磁控濺射鍍膜儀應用領域:

緊湊型直流磁控濺射鍍膜儀設計主要是制作一些金屬薄膜,制膜面積可達到4英寸。設備外形小巧,性價比高,是制作各種金屬薄膜理想的鍍膜設備,可選配各種金屬靶材和真空泵搭配設備使用。

緊湊型直流磁控濺射鍍膜儀技術(shù)規(guī)格:

產(chǎn)品名稱

桌面型單靶磁控鍍膜儀

產(chǎn)品型號

CY-MSZ180-I-DC-Q

樣品臺

外形尺寸

φ100mm

加熱溫度

500

可調(diào)轉(zhuǎn)速

20rpm

磁控靶槍

配一支兩英寸磁控靶,靶材尺寸:直徑50.8mm,厚度≦3mm

真空腔體

腔體尺寸

φ180mm X 215mm

觀察窗口

全向透明

腔體材料

高純石英

開啟方式

上蓋拆卸式

真空系統(tǒng)

前級泵

低噪音雙極旋片泵

分子泵

低噪音大抽速渦輪分子泵

真空測量

復合真空計,量程:10-5~105Pa

抽氣接口

KF16

抽氣接口

KF40

排氣接口

KF16

系統(tǒng)真空

1.0×10-4Pa

供電電源

AC 220V 50/60Hz

抽氣速率

分子泵抽速600L/s,前級泵抽速1.1L/s 

電源配置

電源數(shù)量

直流電源一套

輸出功率

150W

其他參數(shù)

供電電壓

AC220V,50Hz

整機功率

2kW

整機尺寸

550mm X 350mm X400mm

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